水質(zhì)電感耦合等離子體光譜儀采用射頻發(fā)生器的高壓供電回路，運用電子技術(shù)，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度小于0.1% 。全自動點火 氣路智能控制，實現(xiàn)軟件點火，更方便。安全冷卻水保護、氬氣保護、過壓、過流、滅弧保護更安全。輸出功率自動匹配調(diào)諧，功率參數(shù)軟件程序設(shè)定。分光器內(nèi)充氬氣，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測量效果。優(yōu)良的光學(xué)系統(tǒng)，控制系統(tǒng)，保證峰位定位準(zhǔn)確，信背比優(yōu)良、極小的基體效應(yīng)。測量范圍寬， 超微量到常量的分析,動態(tài)線性范圍5-6個數(shù)量級。檢出限低，大多數(shù)元素的檢出限可達ppb級。良好的測量精度，穩(wěn)定性相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1.5%（5ppm），優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)（JJG768-2005）。
技術(shù)參數(shù)：
1.射頻發(fā)生器（RF）

(1) 電路類型：自激振蕩電路，全自動點火，精密高壓開關(guān)電源供電系統(tǒng)，所有功能實現(xiàn)電腦軟件控制(點火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置)；實時功率控制；自動匹配調(diào)諧；光室恒溫

(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%

(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1%

(4) 輸出功率：700－1600w

(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%

(6) 電磁場泄漏輻射強度：距機身300mm 電場強度E:<2V/m

2.進樣裝置:

(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝

(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管

(3) 同軸型噴霧器外徑6mm

(4) 雙筒形霧室外徑35mm

(5) 氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：

①等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

②輔助氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

③載氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

④載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）

儀器內(nèi)設(shè)氬氣二次穩(wěn)壓閥（0.3MPa）

3.測光裝置:

(1) 光電倍增管規(guī)格： R212UH

(2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩(wěn)定性<0.05%

(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A

(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應(yīng)100Hz

4.分光器:

(1) 光路: Czerny-Turner

(2) 焦距: 1000mm

(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數(shù)：0.26nm

(4) 波長范圍：190-500nm

(5) 分辨率: ≤0.008nm

(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：190-500nm

(7) 步進電機驅(qū)動小步距：0.0006nm

(8) 入射狹縫：20µm   出射狹縫：25µm

(9) 發(fā)射鏡規(guī)格：（78 × 105 × 16）mm

(10) 透鏡ф30，1：1成像

技術(shù)指標(biāo)：

測量波長范圍：

180-500nm    3600L/mm光柵

180-800nm    2400 L/mm光柵

測量精度（重復(fù)性）：
平均相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1%

測量穩(wěn)定性：
平均相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤2

檢出下限：亞PPb級